微小量氣體質量流量計：小身材，大能量

在工業自動化、半導體制造、生物醫藥、環保監測等領域，對氣體流量的精確測量需求日益增長。微小量氣體質量流量計憑借其緊湊設計、高精度和快速響應，成為關鍵設備之一。

1. 核心特點

• 微小流量測量：可檢測量程為： 30 - 300SLPM，甚至更小的流量，滿足精密工藝需求。

• 高精度與重復性：采用熱式或壓差原理，誤差可控制在±1%以內，確保數據可靠性。

• 緊湊結構：體積小巧，易于集成到復雜系統中，適合空間受限場景。

• 快速動態響應：毫秒級響應速度，實時監控流量變化。

• 多氣體兼容：通過校準可適配不同氣體（如O?、N?、CO?等）。

2. 工作原理

• 熱式原理：基于氣體流過熱傳感器時的冷卻效應，通過溫度差計算質量流量（無需溫壓補償）。

• 壓差原理：利用層流壓差與流量的線性關系，適合潔凈氣體環境。

3. 典型應用

• 半導體工藝：控制刻蝕、沉積氣體流量，保障芯片制造精度。

• 醫療設備：呼吸機、麻醉機中的氣體輸送監測。

• 實驗室分析：氣相色譜儀（GC）載氣流量控制。

• 新能源：燃料電池氫氣流量管理。

4. 技術優勢

• 數字化輸出：支持RS485、Modbus等通訊協議，便于遠程監控。

• 低功耗設計：適合便攜式或電池供電設備。

• 耐腐蝕材質：可選不銹鋼或特殊涂層，應對腐蝕性氣體。

5. 未來趨勢

隨著物聯網和智能制造的普及，微小量氣體質量流量計將向更高集成度、智能化（如自診斷功能）方向發展，進一步拓展在微型反應器、太空科技等前沿領域的應用。

總結：微小量氣體質量流量計雖體積小，卻在精密工業與科研中扮演著“流量守門人”的角色，以技術創新釋放巨大能量。如想了解更多流量計相關信息或者流量計選型，可咨詢艾絲特流量計廠家技術客服：180 1926 2426（微信同號）獲取幫助。